宽长比    w/l ratio

清除薄片上浮渣    wafer descumming

晶片显影器    wafer developer

切片锯    wafer dicing saw

晶片变形    wafer distortion

薄片干燥用离心机    wafer drying spinner

晶片刻蚀    wafer engraving

薄片制造线    wafer fabrication line

圆片制造用组件    wafer fabrication module

薄片取向面    wafer flat

薄片平面度    wafer flatness

晶片吸除    wafer gettering

晶片装卸器    wafer handler

晶片传送    wafer handling

晶片传送组件    wafer handling module

晶片识别    wafer identification

晶片检查显微镜    wafer inspection microscope

硅片检验台    wafer inspection station

晶片检查装置    wafer inspector

晶片平整    wafer leveling

晶片光刻    wafer lithography

圆片输入器    wafer loader

圆片输入    wafer loading

晶片图形布置    wafer mapping

晶片打标    wafer marking

薄片测量设备    wafer measurig equipment

薄片的非平面度    wafer nonflatness

薄片图案形成    wafer patterning

晶片抛光装置    wafer polishing machine

薄片定位器    wafer positioner

薄片预对准    wafer prealignment

晶片光刻装置    wafer printer

晶片检测仪    wafer prober

薄片加工装置    wafer processing equipment

薄片标记读出    wafer reading

薄片电阻率    wafer resistivity

圆片规模集成电路    wafer scale integrated circuit

圆片规模集成化    wafer scale integration

圆片规模存储器    wafer scale memory

薄片扫描器    wafer scanner

薄片的划 切装置    wafer scriber dicer

硅片擦洗机    wafer scrubber